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  • [行业动态] 纳米压印机的应用

    光刻技术实际上是一种精表面加工技术，它借助于一定波长的激光光源以及选择性的化学腐蚀和刻蚀技术把设计的微纳图案转移到硅基板上。但是随着集成电路功能和密度的提升传统的光刻技术已经难以满足当前对线宽越来越小的需求。但是打破衍射极ji限的大型光刻设
    发布时间：2019-12-10   点击次数：232

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