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[行业动态] 电子束光刻和纳米压印光刻

根据德布罗意的物质波理论，电子在加速电压作用下获得极高的能量，其波长可以达到0.1埃以下，电子束斑的直径可以降至几纳米。电子束光刻利用电子束作为“光源”，电子束在电磁透镜的作用下偏转，可以在基底的光刻胶上写出自定义的图形。电子束
发布时间：2019-09-18 点击次数：292

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