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微纳结构热压印
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分类:
微纳结构热压印
分类:
定制产品与服务
产品编号:1561084661
浏览次数:326
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微纳加工工艺的基本流程
微纳加工工艺基本分为表面加工体加工两大块,微纳结构器件研发基本流程如下:表面加工基本流程如下:一:沉积牺牲层材料;二:光刻定义牺牲层图形;三:刻蚀完成牺牲层图形转移;四:沉积结构材料;五:光刻定义结构微纳结构热压印层图形;六:刻蚀完成结构
发布时间:2020-03-25 点击次数:1396
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