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  • [公司新闻] 光刻加工光刻胶的主要技术参数有哪些？

    光刻加工光刻胶的主要技术参数有哪些？1．灵敏度（Sensitivity）灵敏度是衡量光刻胶曝光速度的指标。光刻胶的灵敏度越高，所需的曝光剂量越小。单位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。2．分辨率（resolution）区别硅片表面相邻图形特征
    发布时间：2018-09-27   点击次数：1198

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