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  • [行业动态] 光刻技术的分类

    电子束光刻电子束光刻技术是微型技术加工发展的关键技术,他在纳米制造领域中起着不可替代的作用。电子束光刻主要是刻画微小的电路图,电路通常是以纳米微单位的。电子束光刻技术不需要掩膜,直接将会聚的电子束斑打在表面涂有光刻胶的衬底上。电子束光刻技术
    发布时间:2019-08-12   点击次数:303

  • [行业动态] 光刻技术的基本原理与工艺流程

    光刻(Lithography)技术是指光刻胶在特殊波长光线或者电子束下发生化学变化,通过曝光、显影、刻蚀等工艺过程,将设计在掩膜上的图形转移到衬底上的图形精细加工技术。据贤集网小编了解其最早应用于集成电路和半导体分立器件的微细加工。可以说,
    发布时间:2019-07-05   点击次数:211

  • [公司新闻] 光刻技术概述及光刻技术的原理

    光刻是集成电路重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术。光刻也是制造芯片的关键技术,他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技与社会发展中,光刻技术的增长,直接关系到大
    发布时间:2019-07-04   点击次数:108

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