紫外硬化压印光刻技术（UV－NIL） 

使用热压印光刻技术的热塑性高分子光刻胶须经过高温、高压、冷却的相变化过 程，在脱模之后压印的图案经常会产生变形现象，因此使用热压印技术不易进行多次或三维 结构的压印，为了解决此问题，有人开始研发一些可以在室温、低压下使用的压印光刻技术。

UV 感光的液态高分子光刻胶，在模版和基板对准完成后，将模版压入光刻胶层并且照射紫 外光使光刻胶发生聚合反应硬化成形，然后脱模、进行刻蚀基板上残留的光刻胶便完成整个 UV－NIL。 紫外压印一个新的发展是提出了步进－闪光压印。步进－闪光压印发明于 Austin 的 Texas 大学，它可以达到 10nm 的分辨率。先将低粘度的单体溶液滴在压印的衬底 上，用很低的压力将模版压倒圆片上，使液态分散开并填充模版中的空腔。紫外光透过模版 背面辐照单体，固化成型后，移去模版。

刻蚀残留层和进行图案转移，得到高纵横比的 结构。 很明显，紫外压印相对于热压印来说，不需要高温、高压的条件，它可以廉价的在 纳米尺度得到高分辨率的图形，它的工艺可用于发展纳米器件，其中的步进－闪光压印不但 导致工艺和工具成本的明显下降，而且在其他方面也和光学光刻一样好或很好，这些其他方 面包括工具寿命、模具寿命（不用掩模版）、模具成本、工艺良率、产量和尺寸重现精度。 但其缺点是需要在洁净间环境下进行操作。