纳米压印设备的制作方法

背景技术：

随着半导体技术及其精密零部件的不断发展，纳米级的技术应用越来越广泛，从而纳米压印设备越来越广泛的应用到各行各业。基于现在市场的需要，加上现阶段纳米压印设备结构单一，自动化程度低，模板定位不准确，压印过程中的压印力误差大，对压印过程中的温度控制不准确，曝光时间长及相关参数控制误差大等缺点，本发明很好的填补了市场空白。解决了以上技术难题。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是如何克服现有技术的不足，提供一种纳米压印设备。

本发明为实现上述目的采用的技术方案是：纳米压印设备，包括压印壳体和工作台，工作台位于所述压印壳体的下方，所述压印壳体中部设有空腔，底部边缘设有回转夹紧气缸，侧面设有进气管道和出气管道，压印壳体的顶部安装有观察窗口，所述观察窗口的下端设有可移动的UV LED面灯，所述压印壳体的内腔中的中部设有密封玻璃，用以隔绝UV LED面灯和观察窗口，形成对压印壳体中部空腔的上端密封。所述工作台包括伺服升降台、工作盘、支撑盘和加热盘，所述加热盘固定在所述工作盘的下端，底面固定在伺服升降台上，支撑盘套接在加热盘的外缘。

进一步，所述工作盘上表面设有若干均匀排布的真空槽，用以采用气压差的形式进行固定工作盘上需要夹持操作的工件，其底部通过PU管道连接有真空泵。

进一步，所述加热盘上设有用温度监测器，用以监测工作台的温度。

进一步，所述真空槽的间隙处设有若干规则排布的定位销，定位销底部对应设有若干并联的气缸，所述定位销为气缸的伸缩杆。

进一步，所述进气管道上连接有气源泵，其上设有压力调节器，所述出气管道的尾端设有压力传感器。

进一步，所述回转夹紧气缸用以在压印壳体的空腔底部夹紧模板，使得模板与空腔之间形成密闭的压力腔，并进一步通过压印壳体上的进气管道和出气管道来控制该压力腔的压力。

进一步，还包括控制器，所述控制器有线或无线连接有HMI，所述控制器与所述压印壳体和工作台相连，用以控制压印壳体中的回转夹紧气缸、UV LED面灯、气源泵，以及控制工作台与所述压印壳体之间协调运行。

进一步，所述回转夹紧气缸的回转夹紧端与欲夹紧的板材之间设有密封圈，所述密封圈为矩形硅胶面，其中部开设有通孔，工作台利用密封圈上的通孔实现与模板的直接接触。

本发明的优点在于：采用压力调节器和压力传感器联合恒压调节，通过自动反馈调节，实现压印力的线性调节；控温系统采用PID控制，控温准确，温度稳定性和误差远远小于当前市场上的设备，且采用UV LED面灯，相比点光源和汞灯，曝光时间短、光照分布均匀、产生热量小，工作效率高。