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声表面波(SAW,Surface Acoustic Wave)是沿物体表面传播的一种弹性波。声表面波是英国物理学家瑞利(Rayleigh)在19世纪80 年代研究地震波的过程中偶尔发现的一种能量集中于地表面传播的声波。1965年,怀特(R.M.White)和沃尔特默(F.W.Voltmer)发表题为"一种新型声表面波声--电转化器"的论文,取得了声表面波技术的关键性突破,能在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器 IDT的发明,大大加速了声表面波技术的发展,使这门年轻的学科逐步发展成为一门新兴的、声学和电子学相结合的边缘学科。
其作为不同的边界条件和传播介质条件可以激发出不同模式的声表面波主要应用于 无线无源测温系统中的声表面波温度传感器,用于电力行业的变电站开关柜测温,温度传感器是直接安装在被测物体表面的测温元件,负责接收探寻射频信号,并返回带温度信息的射频信号。 其用途随着研究的深入也在不断增加。
声表面波 在固体半空间表面存在的一种沿表面传播,微纳结构能量集中于表面附近的弹性波。 又称为表面声波。
从严格意义上说,声表面波泛指沿表面或界面传播的各种模式的波,不同的边界条件和传播介质条件可以激发出不同模式的声表面波。在半基片上存在的声表面波有瑞利波(Rayleigh waves)、漏波(Leaky SAW)、广义瑞利波(Generalized Rayleigh waves)、水平剪切波(SH.SAW)、电声波(B.G waves)、兰姆波(Lamb waves)等。在层状结构的基片存在有乐甫波(Love waves)、西沙瓦波(Sezawa waves)、斯东莱波(Stoneley waves)等。
早在九十多年前,人们就对这种波进行了研究。1885 年,瑞利根据对地震波的研究,从理论上阐明了在各向同性固体表面上弹性波的特性。但由于当时的科学技术水平所限,这种弹性表面波一直没有得到实际上的应用。直到六十年代,由于半导体平面工艺以及激光技术的发展,出现了大量人造压电材料为声表面波技术的发展提供了需要的物质和技术基础。
作为六十年代末期才发展起来的一门新兴科学技术,它是声学和电子学相结合的一门边缘学科。由于声表面波的传播速度比电磁波慢十万倍,而且在它的传播路径上容易取样和进行处理,因此,用声表面波去模拟电子学的各种功能,能使电子器件实现超小型化和多功能化。同时,由于声表面波器件在甚高频和很高频波段内以十分简单的方式提供了其它方法不易得到的信号处理功能,因此,声表面波技术在雷达、通信和电子对抗中得到了广泛的应用。声表面波的应用早是在军用雷达、广播、电视领域作频率稳定的滤波器之用。