规格：

类型：

◆图形面积与结构尺寸（光栅、孔、柱状等）根据客户要求定制，结构尺寸最小可低于100nm

◆4、6、8英寸硅衬底，部分尺寸可做石英衬底
◆可进行抗粘附处理（也可根据客户需求为客户指定模板进行抗粘黏处理）
◆可灵活进行模板设计，进行客户化定制
注：标准模板面积、直径、周期、深度等具体参数请与我司联系咨询。