材料方面：包括纳米压印胶、纳米压印模板（Si、石英、蓝宝石、PDMS）、耗材。
 

 

设备：纳米压印设备、匀胶台；
 

 

基底图形化结构：Si、石英、蓝宝石、PDMS等基底图形化、刻蚀；MEMS器件制作。